半导体行业天车中RFID读写器的使用示例：空中悬挂式无人搬送车自动化

发布时间：2024-09-12

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应用背景

半导体天车，全称为“空中悬挂式无人搬送车，是一种能在空中轨道上行驶的自动化搬运设备，是半导体制造过程中不可或缺的一部分。将RFID技术应用在半导体天车上，通过RFID技术的快速精准、非接触式、穿透性识别功能，在确保晶圆安全的同时，还能提高整个半导体晶圆的运输效率。

应用方案

RFID在半导体天车上的应用主要体现在自动化搬运、实时位置监测、信息读取与上传以及安全控制等方面；

晶圆盒信息读取：FOUP晶圆盒上安装的TI载码体标签（或TI玻璃管标签）记录了晶圆芯片的所有信息，如晶圆尺寸、制造日期、流程信息等。当天车搬运FOUP晶圆盒时，半导体RFID读写器会读取这些信息，确保所搬运的晶圆盒准确无误。

信息上传：在搬运过程中，RFID读写器会将读取到的信息实时上传到管理系统。这样，管理人员可以实时掌握晶圆盒的搬运情况，并在必要时进行干预或调整。

产品溯源：当产品出现瑕疵等不良品时，可以通过RFID技术记录上传数据快速定位到问题点上，进行产品溯源。

产品介绍

CK-S650系列RFID读写器是专为半导体制造业而研发生产的RFID读写器设备。该读卡器符合SEMI标准，支持标准工业半导体SECS协议和 Modbus协议,同时还支持1和N协议,方便用户应用到半导体加工控制器或PLC等系统中。设备外置了三个模式开关选择器，方便用户直接设置工作模式、通信速率以及设备地址。读卡器内部集成了射频部分通信协议，用户只需通过串口通信接口或者以太网通信接口发送接收数据便可完成标签的读取操作，无需理解复杂的射频通信协议。